走査型オージェ電子分光分析装置AES/SAM
| AES空間分解能 | < 8nm （オージェ分析時SEM分解能 < 6nm） |
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| 感度 | 700kcps（Cu LMM）＠10kV, 10nA, 0.5％ |
| エネルギー分解能 | 0.5％以下（HRモード0.1～0.5％） |
| 到達圧力 | 6.7×10－8Pa以下 |
| ソフトウェア |
SmartSoftTM-AES （測定ソフトウェア Windows®XP） |
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PHI MultiPak™ 解析ソフトウェア Windows®XP |
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| オプション |
6試料パーキング機構、試料冷却破断機構等、 トランスファーベッセル、各種特殊試料ホルダー、 EBSD |