透過型電子顕微鏡
| 分解能 | |
|---|---|
| TEM(格子像) | 0.14nm |
| STEM（格子像） | 0.2nm |
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SEI 像の種類 |
1.0nm STEM（DFI, BFI）、SEI、TEM、回折パターン |
| TEM観察用TVディテクタ | WATV、HRTV、SLOW SCAN CCD（オプション） |
| 加速電圧 | 200kV |
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電子銃エミッション方式 構成レンズ |
ZrO/W（100）熱陰極電界放出形 3段照射系レンズ、2段対物レンズ、3段中間レンズ、1段投影レンズ |
| 走査像用コイル | 2段パラレルスキャン方式 |
| 倍率（18.1形LCD上） | TEM：×500～×20,000,000 |
| SEI/STEM：×100～×20,000,000 | |
| 54ステップから任意に倍率選択可能 | |
| カメラ長（18.1形LCD上） | 600～6,000mm |
| 11ステップから任意にカメラ長選択可能 | |
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画像表示 画像部画素数 |
PC/AT互換機、OS：Windows、18.1形LCD TEM像：640×480（最大1280×960）、走査像：1280×1024 |