走査型共焦点レーザー顕微鏡
| 検鏡方法 | レーザ |
レーザ、レーザ微分干渉、 明視野、微分干渉 |
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| 本体 | 照明 | レーザ | 408nm半導体レーザ | |
| クラス2 | ||||
| 明視野 | - | 落射用白色LED照明 | ||
| Zステージ | 上下動範囲 | 70mm | ||
| 試料最大高さ | 100mm | |||
| Zレボルバ | 測定ストローク | 10mm | ||
| 繰り返し性 | 3σ=0.04+0.002Lчm | |||
| 対物レンズ | 5×、10×、20×、50×、100× | |||
| 総合倍率 | 120×～14400× | |||
| 観察視野 | 2560×2560～21×21чm | |||
| 光学ズーム | 1×～6× | |||
| ステージ＊ | マニュアルステージ | 100×100mm | ||
| 電動ステージ | 150×100mm | |||
＊個注ステージにより、300mm×300mm試料にも対応。
Stepn height measurement
Wired frame