研究設備

全自動水平型多目的Ｘ線回折装置（XRD）

試料水平保持方式 薄膜試料に歪み等を与えることなく取り付けることができ、最大サイズ8インチφの試料の測定、および4インチφの場合はエリアマップ測定が可能。
各種粉末解析 定性分析、定量分析、結晶化度評価、結晶子サイズ／格子歪評価、格子定数の精密化、Rietveld解析など。
薄膜評価 組成分析、方位・配向分析、結晶性評価、格子緩和評価、格子歪・残留応力評価、膜厚分析、界面ラフネス分析、密度分析、面内均一性評価など。