研究設備

バイオデバイス・細胞機能評価システム

機種 SUPRA40/40VP
電子銃 ショットキー型電界放出銃
分解機能（標準構成時） 1.3nm@15kV
2.1nm@1kV
2.0nm@30kV 低真空モード（VPのみ）
加速電圧 0.02kV-30kV（10Vステップ）
電流 4pA-20nA（100nAオプション）
倍率 12-1,000,000x
標準検出器 InLens SE検出器・チャンバーSE検出器

 

EBSP

低加速EDX : Al5％ 亜鉛メッキ鋼板