走査型プローブ顕微鏡（SPM）・近接場光顕微鏡
| 分解能 |
AFM原子分解能（Contact Mode時マイカ原子像） STM原子分解能（HCPG原子像） |
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| システムドリフト量 | <0.05nm/s以下 ドリフトフリーステージ/td> |
| 測定モード（AFM） |
・コンタクトモード 凹凸像、フォース像、フォースカーブ、フリクションフォースカーブ I-V,CITS,コンタクト電流像、SPSマッピング |
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・ACモード 凹凸像、位相像、振幅像、Point by Point MFM |
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・ノンコンタクトモード（FMモード） 凹凸像、電流像、CITS、I-V,S-V,I-S |
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| 測定モード（STM） |
・STMモード 凹凸像、電流像、CITS、I-V,S-V,I-S |