レーザー顕微鏡
| 型式 | 顕微鏡測定部 |
VK-8710
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| コントローラ部 | VK-8700 | ||||
| 15型モニタ上倍率 | 200 | 400 | 1000 | 2000 | |
| 対物レンズ倍率 | 10× | 20× | 50× | 100× | |
| 観察測定範囲※1 | 横（H）：μm | 1350 | 675 | 270 | 135 |
| 縦（V）：μm | 1012 | 506 | 202 | 101 | |
| 作動距離：mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | |
| 開口数（N.A.） | 0.3 | 0.46 | 0.8 | 0.95 | |
| 観察・測定用光学系 | ピンホールによる共焦点光学系 | ||||
| 高さ測定 | 測定範囲 | 7mm | |||
| 表示分解能 | 0.01μm | ||||
| 繰り返し精度σ | 0.03μm※2 | ||||
| 幅測定 | 表示分解能 | 0.01μm | |||
| 繰り返し精度3σ | 0.03μm※3 | ||||
| フレームメモリ | ピクセル数 | 2048×1536、1024×768 | |||
| 映像用（モノクロ） | 14bit | ||||
| 映像用（カラー） | RGB各8bit | ||||
| 高さ測定用 | 20bit | ||||
| 光学ズーム | 1x～6x | ||||
| オート機能 | AAG（オートゲイン）／オートフォーカス／RPD | ||||
| 測定用レーザ光源 | 波長 | 赤色レーザ658nm | |||
| 最大出力 | 0.9mW | ||||
| クラス | クラス2（JISC6802） | ||||