３次元形状測定顕微鏡
| 分解能 | 高真空モード | 3.0nm（30kV）、8nm（3kV）、15nm（1kV |
|---|---|---|
| 低真空モード | 4.0nm（30kV） | |
| 倍率 | ×5～300,000 （画像サイズ128mm×96mmにて） | |
| プリセット倍率 | 5段、ユーザー設定可 | |
| 標準レシピ | あり | |
| カスタムレシピ | 観察条件（照射系、自像モード、試料室圧力） 試料ステージ | |
| 画像モード | 二次電子像、REF像、組成像、凹凸像、立体像 | |
| 加速電圧 | 0.3kV～30kV | |
| フィラメント | ファクトリープリセンター形 | |
| 電子銃 | 完全自動、手動調整可能 | |
| コンデンサレンズ | ズーム形 | |
| 対物レンズ | スーパーコニカル形 | |
| 対物レンズ絞り | 3段、XY微調整つき | |
| 試料交換 | ステージ引出し式 | |
| 最大試料寸法 | 200mm径 | |
JSM-6610LVはJSM-6610に低真空機能を内蔵し、貴重な埋蔵文化財など導電処理できない試料や生物、医学、バイオ関連などの含水試料でもそのまま観察できるタイプです。