表面質量スペクトル分析は、最表面の単分子層から詳細な元素および分子情報を提供

• 多様な一次イオン種（Ga、In、Aun、Bin、O2、Cs、Ar、Xe、SF5、Cso）
• ppm/ppbレンジの高感度
• 絶縁試料でも高い質量分解能力と精度を実現
• 広い質量範囲

Spectrum

表面イメージング分析では、非常に細くフォーカスされた一次イオンビームが表面をスキャンし、質量分解二次イオンイメージ（化学組成マップ）を生成します。

• 高い平面分解能（60nm以下）
• 高精度ラスタ（最大1024×1024ピクセル解像度）
• 高速イメージ取込（最大50kHzピクセル周波数）
• 正確な試料ナビゲーションを可能にするビデオコントロール
• μm2からcm2までの広い視野範囲

Image

深さプロファイリングでは、2本のイオンビームがデュアルビームモードで機能します。最初のビームがスパッタリングを行い、2番目のビームがスパッタされたくぼみの底面を解析します。

• 深さ分解能は1nm以上
• 高い質量分解能
• 10μm/時のスパッタ速度
• 絶縁物にも最適

Depth Profile