集束イオンビーム
| イオン銃 | Ga液体金属イオン源 |
|---|---|
| 加速電圧 | 15～30kV |
| 倍率 | 75～300,000倍相当 |
| スキャンローテーション | 0～359.9° |
| 最大操作範囲 | Max. 2.4×2.4mm2 |
| 像分解能 | 7nm |
| ビーム径 | 12～384nm |
| 試料サイズ | Max. 50×50×8tmm |
GREMO : Green Mobility Research Institute, Institutes of Innovation for Future Society, Nagoya University