微小表面材料特性評価システム
| 符号 | MZT-500シリーズ全機種 | |
|---|---|---|
| 試験力負荷装置 | 試験力範囲 | 0.008～980.7mN |
| 負荷方式 | バランスレバー方式 | |
| 試験力制御 | 電磁力方式 | |
| 試験力精度 | ±0.8μN以内または試験力の±1％以内のいずれか大きい値 | |
| 制御最小単位 | 0.916μN | |
| 負荷速度 | 0.1～100mN/s | |
| 圧子押し込み深さ計測装置 | 計測方式 | 静電容量方式 |
| 計測範囲 | 0～20μm | |
| 計測最小単位 | 0.1nm | |
| 直線性 | フルスケール40μmの±0.7％以内 | |
| 圧子 | 種類 | ベルコビッチ三角錐圧子 |
| 先端曲率半径 | 0.1μm以下 | |
| 試料表面観察装置 | カメラ | 1/3インチ白黒（41万画素） |
| モニタ | 9インチ白黒 | |
|
対物レンズ （モニタ倍率） |
100倍（約2500倍） 10倍（約250倍） |
|
| 上下装置 | 稼働範囲 | 0～70mm |
| 稼働方式 |
粗動部：DCモータ駆動 微動部：ステッピングモータ駆動 |
|
| 稼働最小単位 | 0.2μm以下（微動部駆動時） | |
| 試料寸法 | 試料最大寸法 | 90mm（試料微動台上より） |
| 試料最大奥行 | 90mm（圧子軸中心より） | |
| 試料微動台 | ステージ面積 | 100×100mm |
| 移動範囲 | 25（X）×25（Y）mm | |
| 制御方式 | 手動（SPC出力付き） | |
| 駆動最小単位 | 1μm | |