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主要研究内容

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低温プラズマ科学とその応用に関して下記の研究を行っている。具体的には

1. プラズマと固体表界面の反応のその場計測とその原子レベルでの制御
2. プラズマプロセス中の電子、イオン、ラジカル、光の絶対密度の時空間計測
3. 超高密度大気圧プラズマの開発と材料表面処理への応用
4. 超高密度液中プラズマの気液界面計測とナノグラフェンの超高速合成
5. 次世代シリコン大規模集積回路におけるプラズマプロセス（エッチング、薄膜形成）の計測とプロセス制御
6. ナノカーボン（グラフェン、アモルファスカーボン、ダイヤモンドカーボン）を用いた次世代デバイスの開発
7. 次世代パワーデバイス用GaNデバイスプロセスの研究開発
8. カーボンナノウォールの燃料電池への応用
9. プラズマを用いた超高速、超低温カーボンナノチューブの合成とその応用
10. 自律型プラズマ製造装置の開発
11. 超高密度大気圧プラズマを用いた滅菌、殺菌、がん治療、医療および農業、安全安心社会への応用
12. フェムト秒レーザーを用いたプラズマ中の部材の超精密リアルタイム温度計測

主要研究論文

1. T. Hagino, H. Kondo, K. Ishikawa, H. Kano, M. Sekine, M. Hori:Ultrahigh-Speed Synthesis of Nanographene Using Alcohol In-Liquid Plasma, Appl. Phys. Express Vol. 5, DOI: 10.1143/APEX.5.035101 (2012).
2. H. Inui, K. Takeda, K. Ishikawa, T. Yara, T. Uehara, M. Sekine, and M. Hori:Hydrophobic treatment of organics against glass employing nonequilibrium atmospheric pressure pulsed plasmas with a mixture of CF4 and N2 gases, J. Appl. Phys. 109, pp. 013310-1:6 (2011).
3. Wakana Takeuchi, Keigo Takeda, Mineo Hiramatsu, Yutaka Tokuda, Hiroyuki Kano, Shigeru Kimura, Osami Sakata, Hiroo Tajiri, and Masaru Hori:Monolithic self-sustaining nanographene sheet grown using plasma-enhanced chemical vapor deposition, Phys. Status Solidi A 207, pp. 139-143 (2010).